產(chǎn)品類別:精密半導(dǎo)體清洗設備
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產品功能:
◆采用一套多臂氣動機械手傳動,定位精(jīng)準,效率高。
◆人機界麵(miàn),PLC程序控製,觸摸屏操作。
◆水係型清洗劑、DI水(shuǐ)、IPA清洗幹燥。
◆間接(jiē)式導熱油加熱方式,全自動IPA檢測、滅火裝置。
◆機架及全封閉外罩(zhào)HEPA高效空氣過濾器,防止二次汙染。
◆采用多(duō)種清洗頻率清洗設備:40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。
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